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ACCRETECH UF3000EX プローブ ステーションの利点と仕様は次のとおりです。
利点容量と機能：UF3000EXプローブステーションは、新しい高効率チップ原理と駆動システムを採用し、X軸とY軸プラットフォームの高速で低ノイズの動作を保証し、Z軸は世界クラスの負荷容量と容量を保証します。
先進技術：この装置は、OTS位置処理システムとカラー前面画像取得システムを備え、優れた拡大機能を備え、工場で光ファイバーと操作可能な装置として組み込まれています。汎用性：UF3000EXマーキングステーションは、OCRロゴ自動認識、プログラム制御、自動機械歩行などの機能を提供でき、8インチおよび12インチのウェーハと互換性があります。仕様総合精度：2um適用可能なフレキシブルエリア：8インチおよび12インチ温度範囲：常温から150℃X / Y軸最大速度：500mm /秒
