Ưu điểm và thông số kỹ thuật của trạm thăm dò ACCRETECH UF3000EX như sau:
Ưu điểm Công suất và khả năng: Trạm thăm dò UF3000EX áp dụng nguyên lý chip hiệu suất cao mới và hệ thống truyền động để đảm bảo hoạt động tốc độ cao và tiếng ồn thấp của các nền tảng trục X và Y, và trục Z đảm bảo khả năng chịu tải và công suất đẳng cấp thế giới
Công nghệ tiên tiến: Thiết bị được trang bị hệ thống xử lý vị trí OTS và hệ thống thu thập hình ảnh mặt trước màu, có khả năng phóng đại lớn và được chế tạo tại nhà máy dưới dạng sợi quang và thiết bị vận hành Tính linh hoạt: Trạm đánh dấu UF3000EX có thể cung cấp chức năng nhận dạng logo OCR tự động, điều khiển chương trình, di chuyển cơ học tự động và các chức năng khác, đồng thời tương thích với wafer 8 inch và 12 inch Thông số kỹ thuật Độ chính xác toàn diện: 2um Khu vực linh hoạt áp dụng: 8 inch và 12 inch Phạm vi nhiệt độ: Nhiệt độ bình thường đến 150℃ Tốc độ tối đa của trục X/Y: 500mm/giây