ข้อดีหลักและข้อมูลจำเพาะของเครื่องเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ ASM ซีรีส์ ORCAS มีดังต่อไปนี้:
ข้อดี
ความรุ่งโรจน์และความเสถียร: ความเป็นระนาบเดียวกันแบบวงปิด (TTV) ของระบบการขึ้นรูปด้วยมือของ ORCAS มีค่าน้อยกว่า 20μm ช่วยให้มั่นใจถึงเอฟเฟกต์การเคลือบที่มีความแม่นยำสูง
ความคล่องตัว: ระบบรองรับวัสดุพิมพ์ประเภทต่างๆ รวมถึงรอยเชื่อม (ขนาด SQ340mm) และแบบยืดหยุ่น (F8” และ F12”) เหมาะสำหรับสถานการณ์การใช้งานที่หลากหลาย
การผลิตที่มีประสิทธิภาพ: ระบบรองรับการขึ้นรูปแผงหรือเวเฟอร์แบบสองทิศทางตามลำดับ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและความยืดหยุ่นในการผลิต
ข้อมูลจำเพาะ
ความสามารถในการรับน้ำหนัก: ความสามารถในการรับน้ำหนักของระบบขึ้นรูปด้วยมือ ORCAS คือ 60 ตัน เหมาะสำหรับการจัดการงานเคลือบที่มีภาระหนัก
อุปกรณ์พ่นของเหลว: ติดตั้งอุปกรณ์พ่นอนุภาค ซึ่งให้ตัวเลือกโหมดพ่นของเหลวหลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการการเคลือบที่แตกต่างกัน
วัสดุพื้นผิวที่ใช้งานได้: รองรับวัสดุพื้นผิวประเภทต่างๆ เช่น ฟิลเลต์และแบบยืดหยุ่น เหมาะกับความต้องการการผลิตที่แตกต่างกัน
ข้อดีและคุณลักษณะเหล่านี้ทำให้เครื่องเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ ASM ซีรีส์ ORCAS มีประสิทธิภาพดีในด้านการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ เหมาะสำหรับความต้องการการผลิตที่มีความแม่นยำสูงและประสิทธิภาพสูง