Những ưu điểm và thông số kỹ thuật chính của máy cán màng bán dẫn ASM dòng ORCAS như sau:
Thuận lợi
Vinh quang và sự ổn định: Độ đồng phẳng vòng kín (TTV) của hệ thống đúc thủ công ORCAS nhỏ hơn 20μm, đảm bảo hiệu ứng cán màng có độ chính xác cao
Tính linh hoạt: Hệ thống hỗ trợ nhiều loại chất nền khác nhau, bao gồm cả fillet (kích thước SQ340mm) và linh hoạt (F8” và F12”), phù hợp với nhiều tình huống ứng dụng khác nhau
Sản xuất hiệu quả: Hệ thống hỗ trợ đúc tấm hoặc tấm wafer theo hai chiều tuần tự, cải thiện hiệu quả sản xuất và tính linh hoạt
Thông số kỹ thuật
Tải trọng: Tải trọng của hệ thống đúc thủ công ORCAS là 60T, phù hợp để xử lý các nhiệm vụ cán màng nặng
Thiết bị phun chất lỏng: Được trang bị thiết bị phun hạt, cung cấp nhiều tùy chọn chế độ phun chất lỏng để đáp ứng các nhu cầu cán màng khác nhau
Chất nền áp dụng: Hỗ trợ nhiều loại chất nền khác nhau như phi lê và mềm dẻo, phù hợp với các nhu cầu sản xuất khác nhau
Những ưu điểm và thông số kỹ thuật này làm cho máy cán màng bán dẫn ASM dòng ORCAS hoạt động tốt trong lĩnh vực đóng gói bán dẫn, phù hợp với nhu cầu sản xuất có độ chính xác cao và hiệu quả cao