ASM laserskæremaskine LS100-2 er en laserskrivemaskine designet til højpræcisionsskærebehov, specielt velegnet til fremstilling af Mini/Micro LED-chips. Udstyret har følgende hovedfunktioner og fordele:
Højpræcisionsskæring: Skæredybdenøjagtigheden af LS100-2 er σ≤1um, XY skærepositionsnøjagtigheden er σ≤0,7um, og skærebanens bredde er ≤14um. Disse parametre sikrer den høje præcision af spånskæring.
Effektiv produktion: Udstyret kan skære omkring 10 millioner spåner i timen, hvilket væsentligt forbedrer produktionseffektiviteten.
Patenteret teknologi: LS100-2 anvender en række patenterede teknologier for yderligere at forbedre stabiliteten og pålideligheden af skæring.
Anvendelsesområde: Gælder for 4-tommer og 6-tommer wafers, wafertykkelsesvariationen er mindre end 15um, arbejdsbordstørrelsen er 168mm, 260mm, 290°, hvilket kan opfylde skærebehovene for forskellige størrelser og tykkelser.
Derudover er LS100-2 laserskrivemaskinen af stor betydning ved fremstilling af Mini/Micro LED-chips. Da Mini/Micro LED-chips har ekstremt høje krav til skærenøjagtighed, er det svært for almindeligt udstyr at sikre både udbytte og output. LS100-2 løser dette problem med høj præcision og høj effektivitet og opfylder industriens dobbelte behov for udbytte og output.
Fordelene ved ASM laserskæremaskinen LS100-2 omfatter hovedsageligt høj præcision, høj effektivitet og stærk tilpasningsevne.
For det første når skæredybdenøjagtigheden af LS100-2 laserskrivemaskinen σ≤1um, XY skærepositionsnøjagtigheden er σ≤0,7um, og skæresporbredden er ≤14um. Disse højpræcisionsparametre sikrer, at ekstrem høj nøjagtighed kan opretholdes under skæreprocessen, og opfylder produktionskravene med høje præcisionskrav.
For det andet er skærehastigheden på LS100-2 også meget høj. Den kan skære omkring 10 millioner chips i timen, hvilket forbedrer produktionseffektiviteten markant. Derudover kan laserskæringsteknologiens hastighed nå op på flere meter i minuttet, hvilket langt overstiger traditionelle skæremetoder, hvilket yderligere forbedrer produktionseffektiviteten.