เครื่องตัดเลเซอร์ ASM LS100-2 เป็นเครื่องตัดเลเซอร์ที่ออกแบบมาสำหรับงานตัดที่มีความแม่นยำสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับการผลิตชิป LED แบบมินิ/ไมโคร อุปกรณ์นี้มีคุณสมบัติและข้อดีหลักดังต่อไปนี้:
การตัดที่มีความแม่นยำสูง: ความแม่นยำของความลึกในการตัดของ LS100-2 คือ σ≤1um ความแม่นยำของตำแหน่งการตัด XY คือ σ≤0.7um และความกว้างของเส้นทางการตัดคือ ≤14um พารามิเตอร์เหล่านี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำสูงในการตัดเศษ
การผลิตที่มีประสิทธิภาพ: อุปกรณ์สามารถตัดชิปได้ประมาณ 10 ล้านชิปต่อชั่วโมง ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมาก
เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตร: LS100-2 นำเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรจำนวนหนึ่งมาใช้เพื่อปรับปรุงเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือของการตัดให้ดียิ่งขึ้น
ขอบเขตการใช้งาน: ใช้ได้กับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว ความหนาของเวเฟอร์มีการเปลี่ยนแปลงน้อยกว่า 15um ขนาดโต๊ะทำงานคือ 168 มม. 260 มม. 290° ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการการตัดที่มีขนาดและความหนาต่างกันได้
นอกจากนี้ เครื่องเลเซอร์แกะสลัก LS100-2 ยังมีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตชิป Mini/Micro LED เนื่องจากชิป Mini/Micro LED มีข้อกำหนดด้านความแม่นยำในการตัดที่สูงมาก จึงเป็นเรื่องยากที่อุปกรณ์ทั่วไปจะรับประกันทั้งผลผลิตและผลลัพธ์ได้ LS100-2 ช่วยแก้ปัญหานี้ด้วยความแม่นยำสูงและประสิทธิภาพสูง ตอบสนองความต้องการทั้งผลผลิตและผลลัพธ์ของอุตสาหกรรม
ข้อดีของเครื่องตัดเลเซอร์ ASM LS100-2 ได้แก่ ความแม่นยำสูง ประสิทธิภาพสูง และความสามารถในการปรับตัวที่แข็งแกร่ง
ประการแรก ความแม่นยำของความลึกในการตัดของเครื่องตัดเลเซอร์ LS100-2 อยู่ที่ σ≤1um ความแม่นยำของตำแหน่งการตัด XY อยู่ที่ σ≤0.7um และความกว้างของแทร็กการตัดอยู่ที่ ≤14um พารามิเตอร์ที่มีความแม่นยำสูงเหล่านี้ทำให้มั่นใจได้ว่าสามารถรักษาความแม่นยำสูงมากได้ในระหว่างกระบวนการตัด ตอบสนองความต้องการการผลิตด้วยข้อกำหนดความแม่นยำสูง
ประการที่สอง ความเร็วในการตัดของ LS100-2 ก็เร็วมากเช่นกัน สามารถตัดชิปได้ประมาณ 10 ล้านชิ้นต่อชั่วโมง ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมาก นอกจากนี้ ความเร็วของเทคโนโลยีการตัดด้วยเลเซอร์ยังสามารถทำได้ถึงหลายเมตรต่อนาที ซึ่งเร็วกว่าวิธีการตัดแบบเดิมมาก ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตอีกด้วย