ឧបករណ៍ភ្ជាប់បន្ទះឈីបយ៉ាម៉ាហា YSH20

គុណសម្បត្តិរបស់ឧបករណ៍ភ្ជាប់ស្លាប់ YSH20 របស់យ៉ាម៉ាហា ភាគច្រើនរួមមានទិដ្ឋភាពដូចខាងក្រោមៈ

សមត្ថភាពដាក់ខ្ពស់ និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖ YSH20 មានសមត្ថភាពដាក់រហូតដល់ 4,500 UPH (0.8 វិនាទី/ឯកតា) ដែលជាសមត្ថភាពដាក់កំពូលក្នុងចំណោមម៉ាស៊ីនដាក់បន្ទះឈីបត្រឡប់។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការដាក់របស់វាអាចឈានដល់ ±10µm (3σ) ដែលធានាបាននូវប្រសិទ្ធិភាពនៃការដាក់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។

ជួរដាក់សមាសភាគធំទូលាយ៖ ឧបករណ៍អាចដាក់សមាសធាតុពី 0.6x0.6mm ដល់ 18x18mm ដែលសមរម្យសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វី និងសមាសធាតុនៃទំហំផ្សេងៗ។

ទម្រង់ផ្គត់ផ្គង់សមាសធាតុច្រើន៖ YSH20 គាំទ្រទម្រង់ផ្គត់ផ្គង់សមាសធាតុជាច្រើន រួមទាំង វ៉ាហ្វឺរ (6 អ៊ីញ, 8 អ៊ីញ, 12 អ៊ីញ) ថាស Honeycomb និងថាសកាសែត (ទទឹង 8, 12, 16 មម) បំពេញតម្រូវការផលិតកម្មផ្សេងៗគ្នា។

តម្រូវការប្រភពឧស្ម័ន និងថាមពលខ្លាំង៖ ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលបីដំណាក់កាល ហើយតម្រូវការប្រភពឧស្ម័នលើសពី 0.5MPa ដែលធានាបាននូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍។

ការគាំទ្រទំហំស្រទាប់ខាងក្រោមដែលអាចបត់បែនបាន៖ YSH20 អាចគ្រប់គ្រងស្រទាប់ខាងក្រោមពី L50 x W30 ដល់ L340 x W340 mm និងអាចទ្រទ្រង់ស្រទាប់ខាងក្រោម L340 x W340 mm ដើម្បីបំពេញតម្រូវការស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានទំហំខុសៗគ្នា។

ឧបករណ៍ផ្គត់ផ្គង់ wafer YWF: ឧបករណ៍នេះត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ផ្គត់ផ្គង់ wafer YWF ដែលគាំទ្រ wafers 6, 8, និង 12-inch និងមានមុខងារសំណងមុំθ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពបត់បែន និងភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍។