en
ori
alb
amh
ara
arm
aym
aze
bel
ben
bos
bul
bur
cs
dan
de
div
el
est
fil
fin
fra
gle
glg
grn
heb
hi
hkm
hrv
hu
ice
id
it
jp
kan
kin
kor
lao
lav
lit
ltz
lug
mao
may
mlt
nep
nl
nor
nya
orm
per
pl
pt
rom
ru
san
sk
som
spa
srp
swa
swe
tam
th
tr
ukr
urd
vie
wel
xho
ASM ダイボンダー AD50Pro の動作原理は、主に加熱、ローリング、制御システム、補助装置で構成されています。具体的には、
加熱: ダイボンダーはまず、電気加熱などの手段で作業領域の温度を必要な硬化温度まで上げます。加熱システムは通常、ヒーター、温度センサー、コントローラーで構成され、正確な温度制御を実現します。
ローリング: 一部のダイボンダーには、硬化プロセス中に材料を圧縮するローリング システムが装備されています。これにより、ダイボンディング効果が向上し、気泡が除去され、材料の接着性が向上します。
制御システム: ダイボンダーには通常、温度や圧延などのパラメータを制御して正確なダイボンディングを実現する自動制御システムが搭載されており、生産プロセスの安定性と一貫性を確保するのに役立ちます。
補助装置：ダイボンダーには、硬化プロセス中の材料の冷却を促進し、生産効率を向上させるためのファンや冷却装置などの補助装置も装備されています。
さらに、ダイボンダーの具体的な操作およびメンテナンス時には、以下の点に注意する必要があります。
機械構造とメンテナンス：チップコントローラ、エジェクタ、固定具などのコンポーネントのメンテナンスと調整が含まれます。たとえば、エジェクタは主にエジェクタピン、エジェクタモーターなどで構成されており、損傷したコンポーネントは定期的にチェックして交換する必要があります。
パラメータ設定：操作前に、操作材料のPRシステムを調整し、プログラムを設定する必要があります。不適切なパラメータ設定は欠陥を引き起こす可能性があります。たとえば、ウェーハピッキングパラメータ、テーブル結晶配置パラメータ、エジェクタパラメータなどを適切な位置に調整する必要があります。
画像認識処理システム：ダイボンダーには、作業材料を正確に識別して処理できるPRS（画像認識処理システム）も搭載されています。
