en
ori
alb
amh
ara
arm
aym
aze
bel
ben
bos
bul
bur
cs
dan
de
div
el
est
fil
fin
fra
gle
glg
grn
heb
hi
hkm
hrv
hu
ice
id
it
jp
kan
kin
kor
lao
lav
lit
ltz
lug
mao
may
mlt
nep
nl
nor
nya
orm
per
pl
pt
rom
ru
san
sk
som
spa
srp
swa
swe
tam
th
tr
ukr
urd
vie
wel
xho
Лазерная машына для нябачнай рэзкі DISCO DFL7341 мае наступныя перавагі і характарыстыкі:
Перавагі Нізкія пашкоджанні, высокадакладная рэзка: DFL7341 выкарыстоўвае тэхналогію нябачнай лазернай рэзкі для фарміравання мадыфікаванага пласта толькі ўнутры крэмніевай пласціны, падаўляючы адукацыю смецця пры працэсе, і падыходзіць для ўзораў з высокімі патрабаваннямі да часціц. Шырыня рэжучай канаўкі можа быць вельмі вузкай, што дапамагае скараціць шлях рэзкі і паменшыць пашкоджанне пласціны
Тэхналогія сухой апрацоўкі: абсталяванне выкарыстоўвае тэхналогію сухой апрацоўкі, сушкі і ачысткі, і падыходзіць для апрацоўкі прадметаў з нізкай устойлівасцю да стомленасці.
Эфектыўная вытворчасць: DFL7341 падыходзіць для прымянення з высокімі патрабаваннямі да вытворчасці, такіх як святлодыёдны сапфір, танталат літыя і мікраэлектрамеханічныя сістэмы (MEMS). Яго працэс Stealth Dicing™ дазваляе рэзаць далікатныя матэрыялы, такія як карбід крэмнію (SiC) і нітрыд галію (GaN), без адходаў.
Шырокі спектр прымянення: абсталяванне падыходзіць для розных матэрыялаў, уключаючы сапфір, карбід крэмнію, іянізаваны галій (GaAs) і г.д., і можа забяспечыць высакаякасныя вынікі апрацоўкі.
Тэхнічныя характарыстыкі Асноўныя кампаненты: у тым ліку касетны пад'ёмнік, канвеер, сістэма прыцэльвання, сістэма апрацоўкі, аперацыйная сістэма, індыкатар стану, лазерны рухавік, ахаладжальнік і г.д.
Паказчыкі дакладнасці: Дакладнасць працоўнага дыска: восевая дакладнасць па восі X ≤0,002 мм/210 мм, восевая дакладнасць па восі Y ≤0. 003 мм/210 мм, дакладнасць пазіцыянавання па восі Y ≤0,002 мм/5 мм, дакладнасць пазіцыянавання па восі Z ≤0,001 мм
Хуткасць рэзкі: хуткасць рэзкі па восі X 1-1000 мм/с, памернае дазвол па восі Y 0,1 мкм, хуткасць перамяшчэння 200 мм/с, памернае дазвол па восі Z 0,1 мікрон, рух 50 мм/с
Дастасавальныя матэрыялы і таўшчыня: Падтрымліваецца толькі міліметровая рэзка чыста крэмніевай пласціны, таўшчыня крэмніевай пласціны складае 0,1-0,7, памер зярністасці больш за 0,5 мм. Контур экрана для нарэзкі складае каля аднаго мікрона, на паверхні і адваротным баку пласціны няма купала і дыскамфорту
