Машина для резки вафель DISCO DFL7341

Станок лазерной невидимой резки DISCO DFL7341 имеет следующие преимущества и характеристики:

Преимущества Низкий уровень повреждений, высокоточная резка: DFL7341 использует технологию невидимой лазерной резки для формирования модифицированного слоя только внутри кремниевой пластины, подавляя образование отходов обработки, и подходит для образцов с высокими требованиями к частицам. Ширина канавки для резки может быть очень узкой, что помогает сократить путь резки и уменьшить повреждение пластины

Технология сухой обработки: Оборудование использует технологию сухой обработки, сушки и очистки и подходит для обработки предметов с низкой усталостной прочностью.

Эффективное производство: DFL7341 подходит для приложений с высокими производственными требованиями, таких как светодиодный сапфир, танталат лития и микроэлектромеханические системы (MEMS). Его процесс Stealth Dicing™ позволяет резать без отходов хрупкие материалы, такие как карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN).

Широкий спектр применения: оборудование подходит для различных материалов, включая сапфир, карбид кремния, ионизированный галлий (GaAs) и т. д., и может обеспечивать высококачественные результаты обработки.

Технические характеристики Основные компоненты: включая подъемник кассеты, конвейер, систему наведения, систему обработки, операционную систему, индикатор состояния, лазерный двигатель, охладитель и т. д.

Показатели точности: Точность рабочего диска: осевая точность по оси X ≤0,002 мм/210 мм, осевая точность по оси Y ≤0,003 мм/210 мм, точность позиционирования по оси Y ≤0,002 мм/5 мм, точность позиционирования по оси Z ≤0,001 мм

Скорость резки: скорость резки по оси X 1-1000 мм/с, разрешение по оси Y 0,1 мкм, скорость перемещения 200 мм/с, разрешение по оси Z 0,1 мкм, перемещение 50 мм/с

Применимые материалы и толщина: поддерживает только миллиметровую резку чистой кремниевой пластины, толщина кремниевой пластины составляет 0,1-0,7, размер зерна составляет более 0,5 мм. Контур экрана для резки составляет около одного микрона, и нет куполообразного края и дискомфорта на поверхности и задней стороне пластины.