Μηχάνημα κοπής γκοφρέτας DISCO DFL7341

Η αόρατη μηχανή κοπής λέιζερ DISCO DFL7341 έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα και προδιαγραφές:

Πλεονεκτήματα Χαμηλή ζημιά, κοπή υψηλής ακρίβειας: Το DFL7341 χρησιμοποιεί τεχνολογία αόρατης κοπής με λέιζερ για να σχηματίσει ένα τροποποιημένο στρώμα μόνο στο εσωτερικό του πλακιδίου πυριτίου, καταστέλλοντας τη δημιουργία υπολειμμάτων επεξεργασίας και είναι κατάλληλο για δείγματα με υψηλές απαιτήσεις σωματιδίων. Το πλάτος του αυλακιού κοπής μπορεί να είναι πολύ στενό, γεγονός που βοηθά στη μείωση της διαδρομής κοπής και στη μείωση της ζημιάς στη γκοφρέτα

Τεχνολογία ξηρής επεξεργασίας: Ο εξοπλισμός χρησιμοποιεί τεχνολογία ξηρής επεξεργασίας, στέγνωμα και καθαρισμό και είναι κατάλληλος για την επεξεργασία αντικειμένων με χαμηλή αντοχή στην κόπωση

Αποδοτική παραγωγή: Το DFL7341 είναι κατάλληλο για εφαρμογές με υψηλές απαιτήσεις παραγωγής όπως ζαφείρι LED, τανταλικό λίθιο και μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα (MEMS). Η διαδικασία Stealth Dicing™ επιτρέπει την κοπή εύθραυστων υλικών όπως το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) και το νιτρίδιο του γαλλίου (GaN) χωρίς απόβλητα.

Ευρύ φάσμα εφαρμογών: Ο εξοπλισμός είναι κατάλληλος για μια ποικιλία υλικών, όπως ζαφείρι, καρβίδιο του πυριτίου, ιονισμένο γάλλιο (GaAs) κ.λπ., και μπορεί να προσφέρει αποτελέσματα επεξεργασίας υψηλής ποιότητας.

Προδιαγραφές Κύρια εξαρτήματα: Συμπεριλαμβανομένου του ανυψωτικού κασετών, του μεταφορέα, του συστήματος σκόπευσης, του συστήματος επεξεργασίας, του λειτουργικού συστήματος, του δείκτη κατάστασης, του κινητήρα λέιζερ, του ψυκτικού συγκροτήματος κ.λπ.

Ενδείξεις ακρίβειας: Ακρίβεια δίσκου εργασίας: Αξονική ακρίβεια άξονα Χ ≤0,002mm/210mm, Αξονική ακρίβεια άξονα Υ ≤0. 003mm/210mm, Ακρίβεια τοποθέτησης άξονα Υ ≤0,002mm/5mm, Ακρίβεια τοποθέτησης άξονα Z ≤0,001mm

Ταχύτητα κοπής: Ταχύτητα κοπής άξονα Χ 1-1000 mm/s, ανάλυση διαστάσεων άξονα Υ 0,1 micron, ταχύτητα κίνησης 200 mm/s, ανάλυση διαστάσεων άξονα Z 0,1 micron, κίνηση 50 mm/s

Εφαρμόσιμα υλικά και πάχος: Υποστηρίζει μόνο κοπή χιλιοστών γκοφρέτας καθαρού πυριτίου, το πάχος της γκοφρέτας πυριτίου είναι 0,1-0,7, το μέγεθος κόκκων είναι μεγαλύτερο από 0,5 mm. Το περίγραμμα της οθόνης κοπής είναι περίπου ένα μικρό, και δεν υπάρχει άκρη θόλου και ενόχληση στην επιφάνεια και στο πίσω μέρος της γκοφρέτας