Машина для нарізки вафель DISCO DFL7341

Машина для лазерного невидимого різання DISCO DFL7341 має такі переваги та характеристики:

Переваги Низькі пошкодження, високоточне різання: DFL7341 використовує технологію невидимого лазерного різання для формування модифікованого шару лише всередині кремнієвої пластини, пригнічуючи утворення сміття, що виникає при процесі обробки, і підходить для зразків із високими вимогами до частинок. Ширина різальної канавки може бути дуже вузькою, що допомагає зменшити шлях різання та зменшити пошкодження пластини

Технологія сухої обробки: Обладнання використовує технологію сухої обробки, сушіння та очищення, і підходить для обробки об’єктів із поганою стійкістю до втоми.

Ефективне виробництво: DFL7341 підходить для застосувань із високими вимогами до виробництва, таких як світлодіодний сапфір, танталат літію та мікроелектромеханічні системи (MEMS). Його процес Stealth Dicing™ дозволяє різати крихкі матеріали, такі як карбід кремнію (SiC) і нітрид галію (GaN), без відходів.

Широкий спектр застосування: обладнання підходить для різних матеріалів, включаючи сапфір, карбід кремнію, іонізований галій (GaAs) тощо, і може забезпечити високоякісні результати обробки.

Технічні характеристики Основні компоненти: включаючи касетний підйомник, конвеєр, систему прицілювання, систему обробки, операційну систему, індикатор стану, лазерний двигун, холодильну машину тощо.

Показники точності: Точність робочого диска: осьова точність по осі X ≤0,002 мм/210 мм, осьова точність по осі Y ≤0. 003 мм/210 мм, точність позиціонування осі Y ≤0,002 мм/5 мм, точність позиціонування осі Z ≤0,001 мм

Швидкість різання: швидкість різання по осі X 1-1000 мм/с, розмірна роздільна здатність по осі Y 0,1 мкм, швидкість переміщення 200 мм/с, розмірна роздільна здатність по осі Z 0,1 мікрон, рух 50 мм/с

Застосовні матеріали та товщина: підтримується лише міліметрове різання чистої кремнієвої пластини, товщина кремнієвої пластини становить 0,1-0,7, розмір зерна більше 0,5 мм. Контур грані становить близько одного мікрона, немає куполоподібного краю та дискомфорту на поверхні та задній частині пластини