DISCO vafeļu griešanas mašīna DFL7341

DISCO DFL7341 lāzera neredzamās griešanas mašīnai ir šādas priekšrocības un specifikācijas:

Priekšrocības Zemi bojājumi, augstas precizitātes griešana: DFL7341 izmanto lāzera neredzamās griešanas tehnoloģiju, lai veidotu modificētu slāni tikai silīcija plāksnītes iekšpusē, nomācot apstrādes gružu veidošanos, un ir piemērots paraugiem ar augstām daļiņu prasībām. Griešanas rievas platums var būt ļoti šaurs, kas palīdz samazināt griešanas ceļu un samazināt vafeles bojājumus

Sausās apstrādes tehnoloģija: iekārtā tiek izmantota sausās apstrādes tehnoloģija, žāvēšana un tīrīšana, un tā ir piemērota objektu apstrādei ar sliktu noguruma izturību

Efektīva ražošana: DFL7341 ir piemērots lietojumiem ar augstām ražošanas prasībām, piemēram, LED safīrs, litija tantalāts un mikroelektromehāniskās sistēmas (MEMS). Tā Stealth Dicing™ process ļauj bez atkritumiem griezt trauslus materiālus, piemēram, silīcija karbīdu (SiC) un gallija nitrīdu (GaN).

Plašs lietojumu klāsts: iekārta ir piemērota dažādiem materiāliem, tostarp safīram, silīcija karbīdam, jonizētam gallijam (GaAs) utt., un var nodrošināt augstas kvalitātes apstrādes rezultātus.

Specifikācijas Galvenās sastāvdaļas: Ieskaitot kasešu pacēlāju, konveijeru, mērķēšanas sistēmu, apstrādes sistēmu, operētājsistēmu, statusa indikatoru, lāzera dzinēju, dzesētāju utt.

Precizitātes indikatori: Darba diska precizitāte: X-ass aksiālā precizitāte ≤0,002mm/210mm, Y-ass aksiālā precizitāte ≤0. 003mm/210mm, Y-ass pozicionēšanas precizitāte ≤0,002mm/5mm, Z-ass pozicionēšanas precizitāte ≤0,001mm

Griešanas ātrums: X-ass griešanas ātrums 1-1000 mm/s, Y-ass izmēru izšķirtspēja 0,1 mikrons, kustības ātrums 200 mm/s, Z-ass izmēru izšķirtspēja 0,1 mikrons, kustība 50 mm/s

Piemērojamie materiāli un biezums: atbalsta tikai tīra silīcija vafeles milimetru griešanu, silīcija vafeles biezums ir 0,1-0,7, graudu izmērs ir lielāks par 0,5 mm. Kubiņos sagriešanas ekrāna kontūra ir aptuveni viens mikrons, un vafeles virsmā un aizmugurē nav kupola malas un diskomforta.