ಡಿಸ್ಕೋ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಯಂತ್ರ DFL7341

DISCO DFL7341 ಲೇಸರ್ ಅದೃಶ್ಯ ಕತ್ತರಿಸುವ ಯಂತ್ರವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:

ಪ್ರಯೋಜನಗಳು ಕಡಿಮೆ ಹಾನಿ, ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವುದು: DFL7341 ಲೇಸರ್ ಅದೃಶ್ಯ ಕತ್ತರಿಸುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಒಳಗೆ ಮಾತ್ರ ಮಾರ್ಪಡಿಸಿದ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ನಿಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಣಗಳ ಅಗತ್ಯತೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಮಾದರಿಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಕತ್ತರಿಸುವ ತೋಡು ಅಗಲವು ತುಂಬಾ ಕಿರಿದಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಕತ್ತರಿಸುವ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ಗೆ ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ

ಡ್ರೈ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: ಉಪಕರಣಗಳು ಡ್ರೈ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಒಣಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಕಳಪೆ ಆಯಾಸ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

ಸಮರ್ಥ ಉತ್ಪಾದನೆ: LED ನೀಲಮಣಿ, ಲಿಥಿಯಂ ಟ್ಯಾಂಟಲೇಟ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್ (MEMS) ನಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ DFL7341 ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಸ್ಟೆಲ್ತ್ ಡೈಸಿಂಗ್™ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (GaN) ನಂತಹ ಸುಲಭವಾಗಿ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತ್ಯಾಜ್ಯವಿಲ್ಲದೆ ಕತ್ತರಿಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.

ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು: ನೀಲಮಣಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಅಯಾನೀಕೃತ ಗ್ಯಾಲಿಯಂ (GaAs) ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಉಪಕರಣವು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಫಲಿತಾಂಶಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ವಿಶೇಷಣಗಳು ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳು: ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಲಿಫ್ಟ್, ಕನ್ವೇಯರ್, ಗುರಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ಸ್ಥಿತಿ ಸೂಚಕ, ಲೇಸರ್ ಎಂಜಿನ್, ಚಿಲ್ಲರ್, ಇತ್ಯಾದಿ.

ನಿಖರತೆಯ ಸೂಚಕಗಳು: ವರ್ಕಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ನಿಖರತೆ: X-ಅಕ್ಷದ ಅಕ್ಷೀಯ ನಿಖರತೆ ≤0.002mm/210mm, Y-ಅಕ್ಷದ ಅಕ್ಷೀಯ ನಿಖರತೆ ≤0. 003mm/210mm, Y-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ ≤0.002mm/5mm, Z-ಅಕ್ಷದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ ≤0.001mm

ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ: X-ಅಕ್ಷದ ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ 1-1000 mm/s, Y-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಆಯಾಮದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ 0.1 ಮೈಕ್ರಾನ್, ಚಲಿಸುವ ವೇಗ 200 mm/s, Z-ಆಕ್ಸಿಸ್ ಆಯಾಮದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ 0.1 ಮೈಕ್ರಾನ್, ಚಲಿಸುವ 50 mm/s

ಅನ್ವಯವಾಗುವ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ದಪ್ಪ: ಶುದ್ಧ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಮಿಲಿಮೀಟರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮಾತ್ರ ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ದಪ್ಪವು 0.1-0.7 ಆಗಿದೆ, ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರವು 0.5 ಮಿಮೀಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು. ಡೈಸಿಂಗ್ ಪರದೆಯ ಬಾಹ್ಯರೇಖೆಯು ಸುಮಾರು ಒಂದು ಮೈಕ್ರಾನ್ ಆಗಿದೆ, ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಗುಮ್ಮಟದ ಅಂಚು ಮತ್ತು ಅಸ್ವಸ್ಥತೆ ಇಲ್ಲ