DISCO машина за рязане на вафли DFL7341

Машината за лазерно невидимо рязане DISCO DFL7341 има следните предимства и спецификации:

Предимства Ниски щети, високо прецизно рязане: DFL7341 използва технология за невидимо лазерно рязане, за да образува модифициран слой само вътре в силиконовата пластина, като потиска генерирането на остатъци от обработката и е подходящ за проби с високи изисквания за частици. Ширината на режещия канал може да бъде много тясна, което помага да се намали пътя на рязане и да се намали повредата на пластината

Технология на суха обработка: Оборудването използва технология на суха обработка, сушене и почистване и е подходящо за обработка на предмети с лоша устойчивост на умора

Ефективно производство: DFL7341 е подходящ за приложения с високи производствени изисквания като LED сапфир, литиев танталат и микроелектромеханични системи (MEMS). Неговият процес Stealth Dicing™ позволява крехки материали като силициев карбид (SiC) и галиев нитрид (GaN) да се режат без отпадъци.

Широка гама от приложения: Оборудването е подходящо за различни материали, включително сапфир, силициев карбид, йонизиран галий (GaAs) и др., и може да осигури висококачествени резултати от обработката.

Спецификации Основни компоненти: Включително касетен асансьор, конвейер, система за насочване, система за обработка, операционна система, индикатор за състояние, лазерен двигател, охладител и др.

Индикатори за точност: Точност на работния диск: аксиална точност по ос X ≤0,002 mm/210 mm, аксиална точност по ос Y ≤0. 003mm/210mm, точност на позициониране по Y-ос ≤0,002mm/5mm, Z-ос точност на позициониране ≤0,001mm

Скорост на рязане: скорост на рязане по оста X 1-1000 mm/s, размерна разделителна способност по Y-ос 0,1 микрона, скорост на движение 200 mm/s, размерна разделителна способност по Z-ос 0,1 микрона, движеща се 50 mm/s

Приложими материали и дебелина: Поддържа само милиметрово рязане на чиста силиконова пластина, дебелината на силициевата пластина е 0,1-0,7, размерът на зърното е повече от 0,5 mm. Контурът на екрана за нарязване е около един микрон и няма куполен ръб и дискомфорт на повърхността и гърба на вафлата