ސާކީ 3އެސްއައި-އެލްއެސް2 އަކީ ލޭޒަރ ޓްރައިއެންގްލޭޝަން ޓެކްނޮލޮޖީ ބޭނުންކޮށްގެން އުފައްދާފައިވާ ޒަމާނީ 3ޑީ ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް އިންސްޕެކްޝަން އިކުއިޕްމަންޓް (އެސްޕީއައި) އެއް ކަމަށާއި، މިއީ ހައި ޕްރެސިޝަން ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް ޕްރިންޓިންގ ޕްރޮސެސް ކޮލިޓީ ކޮންޓްރޯލް ކުރުމަށް ފަރުމާކޮށްފައިވާ އެއްޗެކެވެ. މި އިކުއިޕްމަންޓުން ރީފްލޯ ސޮލްޑަރ ކުރުމުގެ ކުރިން ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓްގެ ބޯމިނާއި، އޭރިއާއާއި، ވޮލިއުމް އަދި ބައްޓަން އަވަހަށް އަދި ޞަރީޙަކޮށް ދެނެގަނެވޭއިރު، އެސްއެމްޓީ އެސެމްބްލީގެ ޑިފެކްޓްތައް ފައިދާހުރި ގޮތެއްގައި ހުއްޓުވޭނެއެވެ.
2. މައިގަނޑު ޓެކްނިކަލް ސްޕެސިފިކޭޝަންސް
ޕްރޮޖެކްޓް ޕެރެމިޓަރސް
ޑިޓެކްޝަން ޓެކްނޮލޮޖީ: ލޭޒަރ ޓްރައިއެންގްލޭޝަން + ކަލަރ އިމޭޖިންގ
މިންކުރުމުގެ ޞައްޙަކަން: ބޯމިން ±1μm، މަޤާމު ±5μm
ސްކޭނިން ސްޕީޑް: 800އެމްއެމް/ސެކުންޓާ ހަމައަށް
މިންކުރުމުގެ އުސްމިން ރޭންޖް: 0-300μm
މިނިމަމް ޑިޓެކްޝަން ކޮމްޕޮނެންޓް: 01005 (0402)
ޕީސީބީ ސައިޒް ސަޕޯޓް: 510×460އެމްއެމް އާއި ހަމައަށް
ލޭޒަރ ރާޅު ދިގުމިން: 650nm (ރަތް ލޭޒަރ)
ތަކުރާރުކުރާ ޞައްޙަކަން: ±0.5μm
ޑޭޓާ އިންޓަރފޭސް: އެސްއީސީއެސް/ޖީއީއެމް، ޓީސީޕީ/އައިޕީ
3. މައިގަނޑު ފައިދާތައް
3.1 އަލްޓްރާ ހައި ޕްރެސިޝަން ޑިޓެކްޝަން
ޑައުއަލް ލޭޒަރ ސްކޭނިން ސިސްޓަމް އެޑޮޕްޓް ކުރުމުން، ތުނިމިން ވަޒަންކުރުމުގެ ޞައްޙަކަން ±1μm އަށް އަރައެވެ
ސަބް މައިކްރޮން ޒެޑް-އެކްސިސް ރިޒޮލިއުޝަން، ކުދިކުދި ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް ތަފާތުތައް ދެނެގަނެވޭނެއެވެ
3.2 ޕްރޮޑަކްޝަން އެޑެޕްޓޭޝަން ރަނގަޅަށް ހެދުން
800އެމްއެމް/ސެކުންޓްގެ ހައި ސްޕީޑް ސްކޭނިން، ސިންގަލް ބޯޑް ޑިޓެކްޝަން ޓައިމް 15 ސިކުންތުގެ ތެރޭގައި ކޮންޓްރޯލް ކުރެވޭނެ އެވެ
އިންޓެލިޖެންޓް ޕެނަލް ރިކޮގްނިޝަން، ކޮންޓިނިއުއަސް ޕެނަލް ޑިޓެކްޝަންގެ އޮޓޮމެޓިކް ޕްރޮސެސިންގ
3.3 އިންޓެލިޖެންޓް ޑޭޓާ އެނަލިސިސް
3D+2D ކޮމްޕޮޒިޓް އެނަލިސިސް، އެއްފަހަރާ ތުކްނެސް އަދި ޝޭޕް ޕެރަމިޓަރ އިވެލުއޭޝަން
އެސްޕީސީ ރިއަލް ޓައިމް މޮނިޓަރިންގ، ޕްރޮސެސް އެބްނޯމަލިޓީސްގެ އޮޓޮމެޓިކް އިންޒާރު ދިނުން
4. ފާހަގަކޮށްލެވޭ ސިފަތައް
4.1 މަލްޓިމޯޑަލް ޑިޓެކްޝަން ސިސްޓަމް
ލޭޒަރ ސްކޭނިންގ: އުސްމިނުގެ ޑޭޓާ ޞަރީޙަކޮށް ވަޒަންކުރުން
ކުލަ އިމޭޖިންގ: ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް ތަޣައްޔަރުވުމާއި ޑިފޫޝަން ފަދަ އުނިކަންތައްތައް ދެނެގަތުމަށް އެހީތެރިވުން
އިންފްރާރެޑް ޓެމްޕަރޭޗަރ މީޓަރކުރުން: ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް ޓެމްޕަރޭޗަރ ސްޓެބިލިޓީ މޮނިޓަރކުރުން
4.2 އިންޓެލިޖެންޓް އެލްގޮރިޒަމް
އެޑަޕްޓިވް ތްރެޝްހޯލްޑް: ޑިޓެކްޝަން ސްޓޭންޑަރޑް އޮޓޮމެޓިކުން އެޖެސްޓްކުރުން
ވާޗުއަލް މީސަރމަންޓް: ރީފްލޯ ސޮލްޑަރިންގ އަށްފަހު ސޮލްޑަރ ޖޮއިންޓްތަކުގެ ބައްޓަން ލަފާކުރުން
އެންޖީ ރޫޓް ކޯޒް އެނަލިސިސް: ޑިފެކްޓްތަކުގެ ސަބަބު އޮޓޮމެޓިކުން ޓްރޭސް ކުރުން
4.3 އިންސާނީ ޑިޒައިން
އޮޓޮމެޓިކް އުސްމިން އެލައިންމަންޓް ސިސްޓަމް: ތަފާތު ބޯޑު ތުނިމިނަށް އެޑެޕްޓް ވުން
ޑައުއަލް ޓްރެކް ޑިޒައިން: ޑިޓެކްޝަން އާއި މަތީ އަދި ތިރީ ބޯޑުތައް އެއްފަހަރާ ކުރިއަށް ގެންދެއެވެ
ރިމޯޓް ޑައިގްނޯސިސް: ސަޕޯޓް މެނުފެކްޗަރ އޮންލައިން ޓެކްނިކަލް ސަޕޯޓް
5. އޮޕަރޭޝަން ކުރުމަށް އަޅަންޖެހޭ ރައްކާތެރިކަމުގެ ފިޔަވަޅުތައް
5.1 ތިމާވެއްޓަށް ބޭނުންވާ ކަންތައްތައް
ފިނިހޫނުމިން: 23±3 ޑިގްރީ ސެލްސިއަސް އެވެ
ހޫނުމިން: 40-60%އާރްއެޗް
ސާފުތާހިރުކަން: ކްލާސް 10000 އިން ދަށުގެ ކްލާސް
ވައިބަރޭޝަން: <0.2ޖީ
5.2 ދުވަހުން ދުވަހަށް ހިންގުން
ކަރަންޓް ދިނުމަށް ތައްޔާރުވުން:
15 މިނެޓް ވަންދެން ހޫނުކޮށްލާށެވެ
އޮޓޮމެޓިކް ކެލިބްރޭޝަން ހެދުން
ލޭޒަރ ޕަވަރ ސްޓޭބަލްކަން ކަށަވަރުކުރުން
ޓެސްޓް ސެޓިންގސް:
އާ މޮޑެލްތަކަށް ސްޓޭންޑަޑް ޓެސްޓް ލައިބްރަރީއެއް ގާއިމްކުރަން ޖެހެ އެވެ
ޓެސްޓް ކުރުމުގެ އުސޫލުތަކުގެ ފައިދާ ގަވާއިދުން ޔަޤީންކުރުން
ސަލާމަތާ ބެހޭ ގަވާއިދުތައް:
ސީދާ ލޭޒަރ ބީމްގެ ތެރެއަށް ނުބަލާށެވެ
ސާމާނު ދުއްވާއިރު ސޭފްޓީ ދޮރު ނުހުޅުވާށެވެ
6. އާންމުކޮށް ދިމާވާ ގޯސްތަކާއި ބެލެހެއްޓުން
އެރަރ ކޯޑް ފޯލްޓް ޑިސްކްރިޕްޝަން ހައްލު
E1101 ލޭޒަރ އެބްނޯމަލިޓީ 1. ލޭޒަރ ޕަވަރ ސަޕްލައި ޗެކްކުރުން
2. ބެލެހެއްޓުމަށް އުފެއްދުންތެރިޔާއާ ގުޅުން
E1203 ޒޭޑް-އެކްސިސް މޫވްމަންޓް ލިމިޓަށްވުރެ އިތުރުވުން 1. ޕީސީބީ ތުކްނެސް ސެޓިންގ ޗެކްކުރުން
2. ޒޭޑް-އެކްސިސް ސެންސަރ ކެލިބްރޭޓްކުރުން
E1305 ކޮމިއުނިކޭޝަން ޓައިމްއައުޓް 1. ނެޓްވޯކް ކޭބަލް ކަނެކްޝަން ޗެކްކުރުން
2. މުވާސަލާތީ މޮޑިއުލް އަލުން ސްޓާޓްކުރުން
E1402 އިމޭޖް ހޯދުން ނާކާމިޔާބު 1. އޮޕްޓިކަލް ވިންޑޯ ސާފުކުރުން
2. ކެމެރާ ކަނެކްޝަން ޗެކްކުރުން
E1508 ޑޭޓާ ސްޓޯރޭޖް އެބްނޯމަލިޓީ 1. ހާޑް ޑިސްކް ސްޕޭސް ޗެކްކުރުން
2. ސިސްޓަމް އަލުން ސްޓާޓްކުރުން
7. ބެލެހެއްޓުމުގެ އުސޫލު
7.1 ދުވަހުން ދުވަހަށް ބެލެހެއްޓުން
ކޮންމެ ދުވަހަކު:
ލޭޒަރ ވިންޑޯ ސާފުކުރުން (ޚާއްޞަ ސާފުކުރުމުގެ ކަރުދާސް ބޭނުންކުރުން)
ކޮންވެޔަރ ޓްރެކްގެ ސާފުތާހިރުކަން ބަލާށެވެ
ވައިގެ މަސްދަރުގެ ޕްރެޝަރު (އެކަށީގެންވާނަމަ) ކަށަވަރުކުރުން
ހަފްތާއަކު އެއްފަހަރު:
ފުރިހަމަ އޮޕްޓިކަލް ކެލިބްރޭޝަނެއް ހެދުން
ސިސްޓަމް ޕެރެމިޓަރސް ބެކްއަޕް ކުރުން
ފިނިކުރާ ފަންކާގެ ހާލަތު ބަލާށެވެ
7.2 ގަވާއިދުން ބެލެހެއްޓުން
މަހުން މަހަށް:
ފިލްޓަރ ކޮޓަން ބަދަލުކޮށްލާށެވެ
ލައިނަރ ގައިޑް ލުބްރިކޭޓް ކުރާށެވެ
ކޭބަލް ކަނެކްޝަން ޗެކްކުރުން
ކުއާޓަރލީ:
ލޭޒަރ ސިސްޓަމް ފުންކޮށް ކެލިބްރޭޓް ކުރުން
މުސްކުޅިވަމުން އަންނަ އެލްއީޑީ ލައިޓް ސޯސް ބަދަލުކުރުން
ސިސްޓަމްގެ ގްރައުންޑް ރެސިސްޓެންސް ހޯދުން
7.3 އަހަރީ ބެލެހެއްޓުން
އަސްލު އިންޖިނިއަރުގެ ފަރާތުން ކުރިއަށް ގެންދާ ކަންތައްތައް:
ލޭޒަރ ޕަވަރ ކެލިބްރޭޝަން
މޯޝަން ސިސްޓަމްގެ އެކިއުރެސީ ޑިޓެކްޓް ކުރުން
ސިސްޓަމް ފާރމްވޭ އަޕްގްރޭޑް ކޮންޓްރޯލްކުރުން
8. ޓެކްނިކަލް ހައިލައިޓްސް
ޑައުއަލް ލޭޒަރ ސްކޭނިންގ: މީސަރމަންޓް ޝެޑޯސް ނައްތާލުން
ރިއަލް ޓައިމް 3ޑީ މޮޑެލިންގ: ސޮލްޑަރ ޕޭސްޓް ސްޓޭޓަސް އިންޓިއުޓިވްކޮށް ދައްކާލުން
އިންޓެލިޖެންޓް ކޮމްޕެންސޭޝަން އެލްގޮރިޒަމް: ޕީސީބީ ވޯޕޭޖްގެ އަސަރު އޮޓޮމެޓިކުން ރަނގަޅުކުރުން
ޕްރޮސެސް ޓްރޭސެބިލިޓީ ސިސްޓަމް: ޑިޓެކްޝަން ޑޭޓާ ފުރިހަމައަށް ރެކޯޑްކުރުން
9. އެޕްލިކޭޝަން ހުށަހެޅުން
ހައި ޑެންސިޓީ ބޯޑް: ޑިޓެކްޝަން ރިޒޮލިއުޝަން 10μm އަށް ސެޓްކުރުން ރަނގަޅެވެ
އޮޓޯމޯޓިވް އިލެކްޓްރޯނިކްސް: ޑިޓެކްޝަންގެ ހަރުކަށި މިންގަނޑުތައް ބޭނުންކުރުން
ފްލެކްސިބަލް ބޯޑު: ރަނގަޅު ކުރުމަށް ޚާއްޞަ ކެރިއަރެއް ބޭނުން ކުރާށެވެ
މާސް ޕްރޮޑަކްޝަން މާހައުލު: ކޮންމެ 4 ފަހަރަކު ޑިޓެކްޝަން ރިޒޮލިއުޝަން 10μm އަށް ސެޓްކުރުން ރަނގަޅުވެއެވެ
މި އިކުއިޕްމަންޓްގެ ތަފްސީލީ އޮޕަރޭޝަން ހޯދުމަށް SAKI 3Si-LS2 އޮޕަރޭޝަން މެނުއަލް އަށް ރިއާޔަތް ކުރައްވާށެވެ. އޮޕަރޭޓަރުން ސާކީ ސެޓްފިކެޓް ދިނުމުގެ ތަމްރީނު ފުރިހަމަ ކުރުމަށް ލަފާދެއެވެ. އިކުއިޕްމަންޓް ބެލެހެއްޓުމަށް ބޭނުންވަނީ ފެކްޓްރީގައި ކަނޑައަޅާފައިވާ އަސްލު ކޮންސިއުމަބަލްސް އެވެ. ހުއްދަ ނެތި ބަދަލު ގެނައުމުން ޑިޓެކްޝަންގެ ޞައްޙަކަމަށް އަސަރު ފޯރާފާނެއެވެ